发明授权
- 专利标题： Thin film capacitor and electronic circuit component
- 专利标题（中）： 薄膜电容器和电子电路元件
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申请号： US10483378申请日： 2002-07-12
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公开(公告)号： US07294905B2公开(公告)日： 2007-11-13
- 发明人: Masahiko Ogino , Toshiya Satoh , Takao Miwa , Toshihide Nabatame , Satoru Amou
- 申请人： Masahiko Ogino , Toshiya Satoh , Takao Miwa , Toshihide Nabatame , Satoru Amou
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Crowell & Moring LLP
- 优先权： JP2001-211535 20010712
- 国际申请： PCT/JP02/07089 WO 20020712
- 国际公布： WO03/007320 WO 20030123
- 主分类号： H01L29/00
- IPC分类号： H01L29/00
摘要：
A thin film capacitor comprising a lower electrode formed on a predetermined surface, a dielectric layer formed on the lower electrode, and an upper electrode formed on the dielectric layer, wherein the end portion of the lower electrode is further covered by an insulator other than the dielectric layer.
公开/授权文献
- US20040195567A1 Thin film capacitor and electronic circuit component 公开/授权日：2004-10-07
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