发明授权
- 专利标题： Combined spatial filter and relay systems
- 专利标题（中）： 组合空间滤波器和继电器系统
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申请号： US11085450申请日： 2005-03-22
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公开(公告)号： US07317530B2公开(公告)日： 2008-01-08
- 发明人: Martin M. Liphardt , Ping He
- 申请人： Martin M. Liphardt , Ping He
- 申请人地址： US NE Lincoln
- 专利权人： J.A. Woollam Co., Inc.
- 当前专利权人： J.A. Woollam Co., Inc.
- 当前专利权人地址： US NE Lincoln
- 代理商 James D. Welch
- 主分类号： G01J4/00
- IPC分类号： G01J4/00
摘要：
Low aberration relay systems modified to perform as spatial filters in reflectometer, spectrophotometer, ellipsometer, polarimeter and the like systems.
公开/授权文献
- US20060268271A1 Combined spatial filter and relay systems 公开/授权日：2006-11-30
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