发明授权
US07321217B2 Servo system for a two-dimensional micro-electromechanical system (MEMS)-based scanner and method therefor
有权
用于二维微机电系统（MEMS）的扫描仪及其方法的伺服系统
- 专利标题： Servo system for a two-dimensional micro-electromechanical system (MEMS)-based scanner and method therefor
- 专利标题（中）： 用于二维微机电系统（MEMS）的扫描仪及其方法的伺服系统
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申请号： US11515910申请日： 2006-09-06
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公开(公告)号： US07321217B2公开(公告)日： 2008-01-22
- 发明人: Sri M. Sri-Jayantha , Hien Dang , Arun Sharma , Evangelos S. Eleftheriou , Mark A. Lantz , Charalampos Pozidis
- 申请人： Sri M. Sri-Jayantha , Hien Dang , Arun Sharma , Evangelos S. Eleftheriou , Mark A. Lantz , Charalampos Pozidis
- 申请人地址： US NY Armonk
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： US NY Armonk
- 代理机构： McGinn IP Law Group, PLLC
- 代理商 Vazken Alexanian
- 主分类号： G05B1/06
- IPC分类号： G05B1/06
摘要：
A servo control system micro-electromechanical systems (MEMS)-based motion control system (and method therefor), includes a motion generator having an inherent stiffness component.
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