发明授权
- 专利标题： Emitter for an ion source
- 专利标题（中）： 发射体用于离子源
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申请号： US11190043申请日： 2005-07-26
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公开(公告)号： US07335896B2公开(公告)日： 2008-02-26
- 发明人: Wolfgang Pilz , Lothar Bischoff
- 申请人： Wolfgang Pilz , Lothar Bischoff
- 申请人地址： DE Heimstetten
- 专利权人： ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人： ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人地址： DE Heimstetten
- 代理机构： Patterson & Sheridan, LLP
- 优先权： EP04017894 20040728
- 主分类号： H01J27/00
- IPC分类号： H01J27/00
摘要：
An emitter for an ion source, such as a liquid metal alloy ion source (LMAIS). The emitter includes a binary alloy PrSi as a source material.
公开/授权文献
- US20060022143A1 Emitter for an ion source 公开/授权日：2006-02-02
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