发明授权
- 专利标题： Heavy-load nanopositioner with dual-parallel flexure design
- 专利标题（中）： 具有双平行弯曲设计的重载纳米定位器
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申请号： US11107008申请日： 2005-04-15
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公开(公告)号： US07348709B2公开(公告)日： 2008-03-25
- 发明人: Ying Xu
- 申请人： Ying Xu
- 申请人地址： US WI Madison
- 专利权人： nPoint, Inc.
- 当前专利权人： nPoint, Inc.
- 当前专利权人地址： US WI Madison
- 代理机构： DeWitt Ross & Stevens S.C.
- 代理商 Joseph T. Leone, Esq.
- 主分类号： H01L41/08
- IPC分类号： H01L41/08
摘要：
A positioning device for heavy loads is provided. The positioning device includes a frame and a stage disposed or integrally defined within the frame. The stage is dimensioned and configured to be translatable within the frame in at least one axis of motion. At least one dual-parallel flexure connects the stage to the frame.
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