发明授权
- 专利标题： Alumina-sintered body and associated manufacturing method, and electrostatic chuck and associated manufacturing method
- 专利标题（中）： 氧化铝烧结体及其相关制造方法，以及静电卡盘及相关制造方法
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申请号： US11370662申请日： 2006-03-08
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公开(公告)号： US07387977B2公开(公告)日： 2008-06-17
- 发明人: Yutaka Mori , Hiroto Matsuda , Kazuhiro Nobori
- 申请人： Yutaka Mori , Hiroto Matsuda , Kazuhiro Nobori
- 申请人地址： JP Nagoya
- 专利权人： NGK Insulators, Ltd.
- 当前专利权人： NGK Insulators, Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Nagoya
- 代理机构： Burr & Brown
- 优先权： JP2005-069689 20050311
- 主分类号： C04B35/10
- IPC分类号： C04B35/10
摘要：
A binder is mixed to alumina powder with a purity of 99.5% or more (step S11), the mixture is granulated (step S12), resultant granule powder is formed with a die (step S13), and a formed compact is sintered in a hot-pressing manner (step S14).
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