公开(公告)号：US07547407B2

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：US11141699

申请日：2005-05-31

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： B28B3/02 ,  B23B31/28

CPC分类号： C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62665 ,  C04B35/63 ,  C04B35/634 ,  C04B35/6455 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963 ,  Y10T279/23 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/4572 ,  C04B41/5133 ,  C04B41/5057 ,  C04B41/522 ,  C04B41/5031 ,  C04B41/0072 ,  C04B41/4521 ,  C04B41/4545 ,  C04B35/10

摘要： A manufacturing method for a sintered body having a metallic member buried therein is provided, and includes forming an alumina sintered body, forming a metallic member by printing a printing paste including a refractory metal on the alumina sintered body, forming a green alumina compact on the metallic member, and sintering the alumina compact, the metallic member, and the alumina sintered body or the alumina presintered body.

摘要翻译： 提供了一种埋设有金属构件的烧结体的制造方法，包括：形成氧化铝烧结体，通过在氧化铝烧结体上印刷包含难熔金属的印刷浆料，形成金属构件，在其上形成绿色氧化铝压块 金属构件，烧结氧化铝坯料，金属构件，氧化铝烧结体或氧化铝预烧结体。

公开(公告)号：US07564008B2

公开(公告)日：2009-07-21

申请号：US11295150

申请日：2005-12-06

申请人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L21/68757 ,  B23K35/24 ,  B23K35/32 ,  C04B35/645 ,  C04B37/025 ,  C04B37/026 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/658 ,  C04B2237/086 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/123 ,  C04B2237/125 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/403 ,  C04B2237/62 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/706 ,  C04B2237/72 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/84 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6833 ,  Y10T29/49087

摘要： An electrostatic chuck includes a base of a sintered body containing alumina, an electrode as a power-supplied member embedded in the base and supplied with electric power, a bonding member embedded in the base and bonded to the electrode, in which a difference in coefficient of thermal expansion from the sintered body is 2×10−6/K or less, and a melting point is higher than baking temperature of the sintered body, and a terminal bonded to the electrode through the bonding member.

摘要翻译： 静电卡盘包括：包含氧化铝的烧结体的基体，嵌入基座中的电力供给部件的电极，供给电力;嵌入到基体中并与电极接合的接合部件，其中系数差 来自烧结体的热膨胀为2×10 -6 / K以下，熔点高于烧结体的烧结温度，以及通过接合部件与电极接合的端子。

公开(公告)号：US20050056976A1

公开(公告)日：2005-03-17

申请号：US10903893

申请日：2004-07-30

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： H05B3/20 ,  C04B35/00 ,  H01C17/065 ,  H01C17/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H05B3/10 ,  H05B3/12 ,  H05B3/14 ,  H05B3/18 ,  H05B3/74

CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01C17/06513 ,  H01C17/288 ,  H01L21/6831 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49087 ,  Y10T29/49098 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49158 ,  Y10T29/49163

摘要： A method of manufacturing an electrical-resistance heating element includes forming sintered ceramics or calcined ceramics, forming an electrode on the sintered ceramics or the calcined ceramics, and forming a ceramic base material having mainly a high melting point metal on the electrode embedded therein, thereby forming a heating element with built-in electrode.

摘要翻译： 电阻加热元件的制造方法包括：在烧结陶瓷或煅烧陶瓷上形成烧结陶瓷或煅烧陶瓷，形成电极，在其上嵌入的电极上形成主要具有高熔点金属的陶瓷基材， 形成具有内置电极的加热元件。

公开(公告)号：US20060012087A1

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：US11141699

申请日：2005-05-31

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： B28B1/00

CPC分类号： C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62665 ,  C04B35/63 ,  C04B35/634 ,  C04B35/6455 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963 ,  Y10T279/23 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/4572 ,  C04B41/5133 ,  C04B41/5057 ,  C04B41/522 ,  C04B41/5031 ,  C04B41/0072 ,  C04B41/4521 ,  C04B41/4545 ,  C04B35/10

摘要： A manufacturing method for a sintered body with a buried metallic member comprises forming an alumina sintered body or an alumina presintered body, forming a metallic member by printing a printing paste including a refractory metal on the alumina sintered body or the alumina presintered body, forming an alumina compact on the metallic member, and sintering the alumina compact, the metallic member, and the alumina sintered body or the alumina presintered body.

摘要翻译： 具有埋入金属部件的烧结体的制造方法包括：形成氧化铝烧结体或氧化铝预烧结体，通过在氧化铝烧结体或氧化铝预烧结体上印刷含有难熔金属的印刷浆料，形成金属部件，形成 在该金属构件上形成氧化铝，并烧结氧化铝坯料，金属构件，氧化铝烧结体或氧化铝预烧结体。

公开(公告)号：US20060169688A1

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：US11295150

申请日：2005-12-06

申请人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： H05B3/68

CPC分类号： H01L21/68757 ,  B23K35/24 ,  B23K35/32 ,  C04B35/645 ,  C04B37/025 ,  C04B37/026 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/658 ,  C04B2237/086 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/123 ,  C04B2237/125 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/403 ,  C04B2237/62 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/706 ,  C04B2237/72 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/84 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6833 ,  Y10T29/49087

摘要： An electrostatic chuck includes a base of a sintered body containing alumina, an electrode as a power-supplied member embedded in the base and supplied with electric power, a bonding member embedded in the base and bonded to the electrode, in which a difference in coefficient of thermal expansion from the sintered body is 2×10−6/K or less, and a melting point is higher than baking temperature of the sintered body, and a terminal bonded to the electrode through the bonding member.

摘要翻译： 静电卡盘包括：包含氧化铝的烧结体的基体，嵌入基座中的电力供给部件的电极，供给电力;嵌入到基体中并与电极接合的接合部件，其中系数差 的烧结体的热膨胀为2×10 -6 / K以下，熔点高于烧结体的烧结温度，以及通过接合部件与电极接合的端子。

公开(公告)号：US07387977B2

公开(公告)日：2008-06-17

申请号：US11370662

申请日：2006-03-08

申请人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： C04B35/10

CPC分类号： H02N13/00 ,  C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/632 ,  C04B35/63416 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/5418 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： A binder is mixed to alumina powder with a purity of 99.5% or more (step S11), the mixture is granulated (step S12), resultant granule powder is formed with a die (step S13), and a formed compact is sintered in a hot-pressing manner (step S14).

摘要翻译： 将粘合剂与纯度为99.5％以上的氧化铝粉末混合（步骤S11），将混合物造粒（步骤S12），用模具形成所得到的颗粒粉末（步骤S13），成型体成型为 以热压方式烧结（步骤S14）。

公开(公告)号：US07275309B2

公开(公告)日：2007-10-02

申请号：US10903893

申请日：2004-07-30

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： H05B3/00

CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01C17/06513 ,  H01C17/288 ,  H01L21/6831 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49087 ,  Y10T29/49098 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49158 ,  Y10T29/49163

摘要： A method of manufacturing an electrical-resistance heating element includes forming sintered ceramics or calcined ceramics, forming an electrode on the sintered ceramics or the calcined ceramics, and forming a ceramic base material having mainly a high melting point metal on the electrode embedded therein, thereby forming a heating element with built-in electrode.

摘要翻译： 电阻加热元件的制造方法包括：在烧结陶瓷或煅烧陶瓷上形成烧结陶瓷或煅烧陶瓷，形成电极，在其上嵌入的电极上形成主要具有高熔点金属的陶瓷基材， 形成具有内置电极的加热元件。

公开(公告)号：US20060205585A1

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：US11370662

申请日：2006-03-08

申请人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： C04B35/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/632 ,  C04B35/63416 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/5418 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： A binder is mixed to alumina powder with a purity of 99.5% or more (step S11), the mixture is granulated (step S12), resultant granule powder is formed with a die (step S13), and a formed compact is sintered in a hot-pressing manner (step S14).

摘要翻译： 将粘合剂与纯度为99.5％以上的氧化铝粉末混合（步骤S11），将混合物造粒（步骤S12），用模具形成所得到的颗粒粉末（步骤S13），成型体成型为 以热压方式烧结（步骤S14）。

公开(公告)号：US07446993B2

公开(公告)日：2008-11-04

申请号：US11688332

申请日：2007-03-20

申请人： Akiyoshi Hattori ,  Yutaka Mori ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Akiyoshi Hattori ,  Yutaka Mori ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： H01T23/00

CPC分类号： C04B35/101

摘要： An alumina sintered body comprises an alumina substrate having a first main surface and a second main surface opposing each other, an embedded film electrode made of a metal and embedded in the alumina substrate at a depth HD of 0.4 mm or less from a first main surface SF1, and an embedded terminal formed of a metal, embedded in the alumina substrate nearer a second main surface SF2 side than the embedded electrode. The embedded terminal is in contact with the embedded electrode and a film thickness HE of the embedded electrode is 25 μm or less.

摘要翻译： 氧化铝烧结体包括具有彼此相对的第一主表面和第二主表面的氧化铝基体，由金属制成并嵌入氧化铝基底中的深度H D D为0.4的嵌入膜电极 mm以下的嵌入式端子，以及由金属构成的嵌入式端子，嵌入在氧化铝基板中，比嵌入的第二主表面SF2更靠近第二主表面SF2 电极。 嵌入式端子与嵌入式电极接触，嵌入式电极的膜厚H E为25μm以下。

公开(公告)号：US20070223167A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：US11688332

申请日：2007-03-20

申请人： Akiyoshi Hattori ,  Yutaka Mori ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Akiyoshi Hattori ,  Yutaka Mori ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： H02H9/06

CPC分类号： C04B35/101

摘要： An alumina sintered body comprises an alumina substrate having a first main surface and a second main surface opposing each other, an embedded film electrode made of a metal and embedded in the alumina substrate at a depth HD of 0.4 mm or less from a first main surface SF1, and an embedded terminal formed of a metal, embedded in the alumina substrate nearer a second main surface SF2 side than the embedded electrode. The embedded terminal is in contact with the embedded electrode and a film thickness HE of the embedded electrode is 25 μm or less.

摘要翻译： 氧化铝烧结体包括具有彼此相对的第一主表面和第二主表面的氧化铝基体，由金属制成并嵌入氧化铝基底中的深度H D D为0.4的嵌入膜电极 mm以下的嵌入式端子，以及由金属构成的嵌入式端子，嵌入在氧化铝基板中，比嵌入的第二主表面SF2更靠近第二主表面SF2 电极。 嵌入式端子与嵌入式电极接触，嵌入式电极的膜厚H E为25μm以下。