- 专利标题： Thin film transistor and manufacturing method thereof, and active matrix display device and manufacturing method thereof
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申请号： US10068004申请日： 2002-02-08
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公开(公告)号： US07488982B2公开(公告)日： 2009-02-10
- 发明人: Woo Young So , Kyung Jin Yoo , Sang Il Park
- 申请人： Woo Young So , Kyung Jin Yoo , Sang Il Park
- 申请人地址： KR Suwon-si
- 专利权人： Samsung Mobile Display Co., Ltd.
- 当前专利权人： Samsung Mobile Display Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Suwon-si
- 代理机构： Stein, McEwen & Bui, LLP
- 优先权： KR2001-10842 20010302
- 主分类号： H01L29/04
- IPC分类号： H01L29/04
摘要：
A method of manufacturing a thin film transistor (TFT) which is manufactured such that source and drain electrodes directly contact source and drain regions without contact holes.
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