发明授权
- 专利标题： Hybrid silicon-on-insulator waveguide devices
- 专利标题（中）： 混合硅绝缘体上波导器件
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申请号： US11411447申请日： 2006-04-25
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公开(公告)号： US07528403B1公开(公告)日： 2009-05-05
- 发明人: Matthew Borselli , Thomas J Johnson , Oskar Painter
- 申请人： Matthew Borselli , Thomas J Johnson , Oskar Painter
- 申请人地址： US CA Pasadena
- 专利权人： California Institute of Technology
- 当前专利权人： California Institute of Technology
- 当前专利权人地址： US CA Pasadena
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 主分类号： H01L29/06
- IPC分类号： H01L29/06 ; H01L31/0328 ; H01L31/0336 ; H01L31/072 ; H01L31/109 ; H01L27/15 ; H01L29/26 ; H01L31/12 ; H01L33/00 ; H01L29/22 ; H01L29/24
摘要：
Device designs and techniques for providing efficient hybrid silicon-on-insulator devices where a silicon waveguide core or resonator is clad by the insulator and a top functional cladding layer in some implementations of the designs.
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