发明授权
- 专利标题： Forced air cooling of components on a probecard
- 专利标题（中）： 强制风冷部件的问题
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申请号： US11639010申请日： 2006-12-14
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公开(公告)号： US07541824B2公开(公告)日： 2009-06-02
- 发明人: Romi Mayder , John Andberg
- 申请人： Romi Mayder , John Andberg
- 申请人地址： SG Singapore
- 专利权人： Verigy (Singapore) Pte. Ltd.
- 当前专利权人： Verigy (Singapore) Pte. Ltd.
- 当前专利权人地址： SG Singapore
- 代理机构： Holland & Hart, LLP
- 主分类号： G01R1/02
- IPC分类号： G01R1/02
摘要：
A probe card with an air channel over the active components for cooling the active components on the probe card is provided.
公开/授权文献
- US20080143364A1 Forced air cooling of components on a probecard 公开/授权日：2008-06-19
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