发明授权
- 专利标题： Methods and apparatus for statistical characterization of nano-particles
- 专利标题（中）： 纳米颗粒统计学表征的方法和装置
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申请号： US11481574申请日： 2006-07-06
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公开(公告)号： US07544938B1公开(公告)日： 2009-06-09
- 发明人: Diane K. Stewart , Daniel Rosenthal , Michel Epsztein
- 申请人： Diane K. Stewart , Daniel Rosenthal , Michel Epsztein
- 申请人地址： US OR Hillsboro
- 专利权人： FEI, Company
- 当前专利权人： FEI, Company
- 当前专利权人地址： US OR Hillsboro
- 代理机构： Scheinberg & Griner, LLLP
- 代理商 Michael O. Scheinberg; David Griner
- 主分类号： G01N23/05
- IPC分类号： G01N23/05
摘要：
A method and apparatus for determining statistical characteristics of nano-particles includes distributing the nano-particles over a surface and then determining properties of the nano-particles by automatic measurement of multiple particles or by a measurement that determines properties of multiple particles at one time, without manipulating individual nano-particles.
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