发明授权
- 专利标题： Using an interferometer as a high speed variable attenuator
- 专利标题（中）： 使用干涉仪作为高速可变衰减器
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申请号： US11581786申请日： 2006-10-17
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公开(公告)号： US07683300B2公开(公告)日： 2010-03-23
- 发明人: Oscar Franciscus Jozephus Noordman , Justin L. Kreuzer
- 申请人： Oscar Franciscus Jozephus Noordman , Justin L. Kreuzer
- 申请人地址： NL Veldhoven NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.,ASML Holding N.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.,ASML Holding N.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven NL Veldhoven
- 代理机构： Sterne, Kessler, Goldstein & Fox P.L.L.C.
- 主分类号： G01J1/32
- IPC分类号： G01J1/32 ; G02B26/00 ; G02F1/33 ; G03B27/74
摘要：
A system and method provides high speed variable attenuators. The attenuators can be used within a lithographic apparatus to control intensity of radiation in one or more correction pulses used to correct a dose of the radiation following an initial pulse of radiation.
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