发明授权
- 专利标题： Optical coatings
- 专利标题（中）： 光学涂料
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申请号： US10955601申请日： 2004-09-29
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公开(公告)号： US07687225B2公开(公告)日： 2010-03-30
- 发明人: Sergei V. Koveshnikov , Juan E. Dominguez , Kyle Y. Flanigan , Ernisse Putna
- 申请人： Sergei V. Koveshnikov , Juan E. Dominguez , Kyle Y. Flanigan , Ernisse Putna
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Intel Corporation
- 当前专利权人： Intel Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 主分类号： G03F1/00
- IPC分类号： G03F1/00 ; B44C1/22
摘要：
Systems and techniques involving optical coatings for semiconductor devices. An implementation includes a substantially isotropic, heterogeneous anti-reflective coating having a substantially equal thickness normal to any portion of a substrate independent of the orientation of the portion.
公开/授权文献
- US20060073424A1 Optical coatings 公开/授权日：2006-04-06
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