发明授权
- 专利标题： Zinc-oxide-based target
- 专利标题（中）： 基于氧化锌的目标
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申请号： US12561715申请日： 2009-09-17
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公开(公告)号： US07790644B2公开(公告)日： 2010-09-07
- 发明人: Seiichiro Takahashi , Seiji Moriuchi , Norihiko Miyashita , Makoto Ikeda
- 申请人： Seiichiro Takahashi , Seiji Moriuchi , Norihiko Miyashita , Makoto Ikeda
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.
- 当前专利权人： Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Sughrue Mion, PLLC
- 优先权： JP2008-238751 20080917
- 主分类号： C04B35/453
- IPC分类号： C04B35/453 ; C23C14/34
摘要：
The invention provides a zinc-oxide-based target, having excellent environmental durability. The target contains zinc oxide as a predominant component, and both titanium (Ti) and gallium (Ga) in amounts of 1.1 at. % or more and 4.5 at. % or more, respectively.
公开/授权文献
- US20100065424A1 ZINC-OXIDE-BASED TARGET 公开/授权日：2010-03-18
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