发明授权
- 专利标题： Wafer center finding
- 专利标题（中）： 晶圆中心查找
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申请号： US12032341申请日： 2008-02-15
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公开(公告)号： US07894657B2公开(公告)日： 2011-02-22
- 发明人: Peter van der Meulen , Forrest T. Buzan
- 申请人： Peter van der Meulen , Forrest T. Buzan
- 申请人地址： US MA Chelmsford
- 专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Chelmsford
- 代理机构： Perman & Green, LLP
- 代理商 Richard Pickreign
- 主分类号： G06K9/00
- IPC分类号： G06K9/00
摘要：
A number of wafer center finding methods and systems are disclosed herein that improve upon existing techniques used in semiconductor manufacturing.
公开/授权文献
- US20080147333A1 WAFER CENTER FINDING 公开/授权日：2008-06-19
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