发明授权
US07942623B2 Substrate supporting means having wire and apparatus using the same
有权
具有导线的基板支撑装置和使用该支撑装置的装置
- 专利标题： Substrate supporting means having wire and apparatus using the same
- 专利标题（中）： 具有导线的基板支撑装置和使用该支撑装置的装置
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申请号： US12824956申请日： 2010-06-28
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公开(公告)号： US07942623B2公开(公告)日： 2011-05-17
- 发明人: Chul-Joo Hwang , Sang-Do Lee
- 申请人： Chul-Joo Hwang , Sang-Do Lee
- 申请人地址： KR Gwangju-si, Gyeonggi-do
- 专利权人： Jusung Engineering Co. Ltd.
- 当前专利权人： Jusung Engineering Co. Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Gwangju-si, Gyeonggi-do
- 代理机构： Portland IP Law LLC
- 优先权： KR10-2004-0004294 20040120; KR10-2004-0022648 20040401; KR10-2005-0001505 20050107
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; C23C16/00 ; C23F1/00
摘要：
An apparatus includes: a process chamber for treating a substrate; a susceptor in the process chamber; a supporting frame over the susceptor; and at least one wire connected to the supporting frame.
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