发明授权
- 专利标题： On-line chamber cleaning using dry ice blasting
- 专利标题（中）： 使用干冰喷砂在线室清洁
-
申请号： US11730299申请日： 2007-03-30
-
公开(公告)号： US08292698B1公开(公告)日： 2012-10-23
- 发明人: Hong Shih , Oana M. Leonte , John E. Daugherty , Tuochuan Huang , Gregory J. Goldspring , Michael C. May
- 申请人： Hong Shih , Oana M. Leonte , John E. Daugherty , Tuochuan Huang , Gregory J. Goldspring , Michael C. May
- 申请人地址： US CA Fremont
- 专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Fremont
- 代理机构： Buchanan Ingersoll & Rooney PC
- 主分类号： B24B1/00
- IPC分类号： B24B1/00 ; B24C1/00
摘要：
An on-line method of cleaning contaminants from at least one interior surface in plasma chambers comprises blasting one or more interior surfaces of a plasma chamber with dry ice to remove contaminants from the one or more surfaces.
信息查询
