利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明授权
US08440522B2 Increasing an electrical resistance of a resistor by oxidation 有权
通过氧化增加电阻的电阻

Increasing an electrical resistance of a resistor by oxidation
摘要：
A method for increasing an electrical resistance of a resistor that is within a semiconductor structure. A fraction of a surface layer of the resistor is oxidized with oxygen particles. In an embodiment, the fraction of the surface layer is heated by a beam of particles, such that the semiconductor structure is within a chamber that includes the oxygen particles as gaseous oxygen-comprising molecules. In an embodiment, the semiconductor structure is immersed in a chemical solution which includes the oxygen particles, wherein the oxygen particles includes oxygen-comprising liquid molecules, oxygen ions, or an oxygen-comprising gas dissolved in the chemical solution under pressurization. In an embodiment, the resistor is tested to determine whether the electrical resistance of the resistor after being oxidized with the oxygen particles is within a tolerance of a predetermined target resistance.
摘要（中）：

一种用于增加在半导体结构内的电阻器的电阻的方法。 电阻的表面层的一部分被氧颗粒氧化。 在一个实施方案中，表面层的分数由颗粒束加热，使得半导体结构在包含作为气态含氧分子的氧颗粒的室内。 在一个实施方案中，将半导体结构浸入包括氧颗粒的化学溶液中，其中氧颗粒包括在加压下溶解在化学溶液中的含氧液体分子，氧离子或含氧气体。 在一个实施例中，测试电阻器以确定在用氧颗粒氧化后电阻器的电阻是否在预定目标电阻的容限内。

公开/授权文献
信息查询
Espacenet
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77 ..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78 ...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）
H01L21/82 ....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822 .....衬底是采用硅工艺的半导体的（H01L21/8258优先）
H01L21/8232 ......场效应工艺
H01L21/8234 .......MIS工艺
0/0