发明授权
- 专利标题： Methods of and factories for thin-film battery manufacturing
- 专利标题（中）： 薄膜电池制造方法和工厂
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申请号： US12882002申请日： 2010-09-14
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公开(公告)号： US08464419B2公开(公告)日： 2013-06-18
- 发明人: Byung-Sung Kwak , Stefan Bangert , Dieter Haas , Omkaram Nalamasu
- 申请人： Byung-Sung Kwak , Stefan Bangert , Dieter Haas , Omkaram Nalamasu
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Blakely Sokoloff Taylor Zafman LLP
- 主分类号： B23P19/00
- IPC分类号： B23P19/00 ; C23C16/00
摘要：
Methods of and factories for thin-film battery manufacturing are described. A method includes operations for fabricating a thin-film battery. A factory includes one or more tool sets for fabricating a thin-film battery.
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