Multi-level layer

Invention Grant

US08574823B2 Multi-level layer 有权

Title translation: 多级层

Patent Title: Multi-level layer
Patent Title (中): 多级层
Application No.: US11243614

Application Date: 2005-10-05
Publication No.: US08574823B2

Publication Date: 2013-11-05
Inventor: Bradley D. Chung , Alan T. Davis , Colin C. Davis , Mohammed S. Shaarawi , Jeremy H. Donaldson , Joe E. Stout
Applicant: Bradley D. Chung , Alan T. Davis , Colin C. Davis , Mohammed S. Shaarawi , Jeremy H. Donaldson , Joe E. Stout
Applicant Address: US TX Houston
Assignee: Hewlett-Packard Development Company, L.P.
Current Assignee: Hewlett-Packard Development Company, L.P.
Current Assignee Address: US TX Houston
Main IPC: G03F7/26
IPC: G03F7/26

Abstract:

Various methods and apparatus relating to a multi-level layer are disclosed.

Abstract(Chinese):

公开了与多层相关的各种方法和装置。

Public/Granted literature

Information query

Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/26	.感光材料的处理及其设备（G03F7/12至G03F7/24优先）