发明授权
- 专利标题： Mold structures, and method of transfer of fine structures
- 专利标题（中）： 模具结构，精细结构转移方法
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申请号： US13526708申请日： 2012-06-19
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公开(公告)号： US08632714B2公开(公告)日： 2014-01-21
- 发明人: Masahiko Ogino , Akihiro Miyauchi , Sigehisa Motowaki , Kosuke Kuwabara
- 申请人： Masahiko Ogino , Akihiro Miyauchi , Sigehisa Motowaki , Kosuke Kuwabara
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Antonelli, Terry, Stout & Kraus, LLP.
- 优先权： JP2003-78460 20030320
- 主分类号： B28B11/08
- IPC分类号： B28B11/08 ; B27N3/18 ; A01J21/00
摘要：
A mold and a pattern transfer method using the same for a nanoprinting technology. The mold can be released from a substrate accurately and easily. The mold, which is used for forming a fine pattern on a substrate using a press machine, comprises a release mechanism.
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