发明授权
- 专利标题： Window unit, window device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system
- 专利标题（中）： 窗单元，窗装置，激光装置和极紫外光发生系统
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申请号： US13636038申请日： 2011-07-05
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公开(公告)号： US08742379B2公开(公告)日： 2014-06-03
- 发明人: Hidenobu Kameda , Masato Moriya , Osamu Wakabayashi
- 申请人： Hidenobu Kameda , Masato Moriya , Osamu Wakabayashi
- 申请人地址： JP Tochigi
- 专利权人： Gigaphoton Inc.
- 当前专利权人： Gigaphoton Inc.
- 当前专利权人地址： JP Tochigi
- 代理机构： McDermott Will & Emery LLP
- 优先权： JP2010-191466 20100827; JP2011-075374 20110330
- 国际申请： PCT/JP2011/065744 WO 20110705
- 国际公布： WO2012/026228 WO 20120301
- 主分类号： H01S3/04
- IPC分类号： H01S3/04
摘要：
A window unit may include: a window configured to allow a laser beam to be transmitted therethrough; and a holder for holding the window at a periphery thereof, the holder being provided with a flow channel thereinside configured to allow a fluid to flow.
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