发明授权
- 专利标题： Processing system having magnet keeper
- 专利标题（中）： 具有磁力保持器的加工系统
-
申请号： US12895653申请日： 2010-09-30
-
公开(公告)号： US08919279B1公开(公告)日： 2014-12-30
- 发明人: Allen J. Bourez , Robert D. Hempstead , Jinliang Chen , Yew Ming Chiong
- 申请人： Allen J. Bourez , Robert D. Hempstead , Jinliang Chen , Yew Ming Chiong
- 申请人地址： US CA San Jose
- 专利权人： WD Media, LLC
- 当前专利权人： WD Media, LLC
- 当前专利权人地址： US CA San Jose
- 主分类号： C23C16/00
- IPC分类号： C23C16/00 ; C23F1/00 ; H01L21/306
摘要：
A processing system for and a method of producing ions inside a process chamber and shielding the ions from a magnetic field by directing the magnetic field through a magnet keeper is described.
信息查询
IPC分类:
