发明授权
US09120673B2 Production of trisilylamine from monochlorosilane and ammonia by use of inert solvent
有权
通过使用惰性溶剂从一氯硅烷和氨生产三甲苯胺
- 专利标题： Production of trisilylamine from monochlorosilane and ammonia by use of inert solvent
- 专利标题（中）： 通过使用惰性溶剂从一氯硅烷和氨生产三甲苯胺
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申请号： US14344793申请日： 2012-11-06
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公开(公告)号： US09120673B2公开(公告)日： 2015-09-01
- 发明人: Carl-Friedrich Hoppe , Hartwig Rauleder , Christian Goetz
- 申请人： Carl-Friedrich Hoppe , Hartwig Rauleder , Christian Goetz
- 申请人地址： DE Essen
- 专利权人： Evonik Industries AG
- 当前专利权人： Evonik Industries AG
- 当前专利权人地址： DE Essen
- 代理机构： Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： DE102011088814 20111216
- 国际申请： PCT/EP2012/071873 WO 20121106
- 国际公布： WO2013/087298 WO 20130620
- 主分类号： C01B33/00
- IPC分类号： C01B33/00 ; B01J8/00 ; C01B21/087 ; C07F7/02 ; B01D3/14 ; B01D3/00
摘要：
The present invention relates to a specific process for producing trisilylamine from monochlorosilane and ammonia in the liquid phase. The invention further relates to a plant wherein such a process can be carried out with advantage.
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