发明授权
- 专利标题： MEMS variable capacitor
- 专利标题（中）： MEMS可变电容器
-
申请号： US13700613申请日： 2011-06-01
-
公开(公告)号： US09418794B2公开(公告)日： 2016-08-16
- 发明人: Chang Wook Kim , Dong Chan Park , Ju Young Song , Sang Hun Lee , Sung Bae Cho , Hyun Ho Yang , Jun Bo Yoon , Dong Hun Choi , Chang Hun Han
- 申请人： Chang Wook Kim , Dong Chan Park , Ju Young Song , Sang Hun Lee , Sung Bae Cho , Hyun Ho Yang , Jun Bo Yoon , Dong Hun Choi , Chang Hun Han
- 申请人地址： KR Seoul KR Daejeon
- 专利权人： LG INNOTEK CO., LTD.,KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
- 当前专利权人： LG INNOTEK CO., LTD.,KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
- 当前专利权人地址： KR Seoul KR Daejeon
- 代理机构： Saliwanchik, Lloyd & Eisenschenk
- 优先权： KR10-2010-0051958 20100601
- 国际申请： PCT/KR2011/003991 WO 20110601
- 国际公布： WO2011/152653 WO 20111208
- 主分类号： H01G5/01
- IPC分类号： H01G5/01 ; H01G7/00 ; H01G7/06 ; H01G5/16
摘要：
Disclosed is a MEMS variable capacitor, the capacitor including a first electrode, a second electrode that is floated on an upper surface of the first electrode, and a third electrode capable of variably-adjusting a capacitance value by adjusting a gap between the first electrode and the second electrode.
公开/授权文献
- US20130135785A1 MEMS VARIABLE CAPACITOR 公开/授权日：2013-05-30
信息查询
