发明授权
US09526146B2 Mask assembly fabrication apparatus and mask assembly fabrication method using the same
有权
面罩组装制造装置及使用其的面罩组装制造方法
- 专利标题： Mask assembly fabrication apparatus and mask assembly fabrication method using the same
- 专利标题（中）： 面罩组装制造装置及使用其的面罩组装制造方法
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申请号： US14034901申请日： 2013-09-24
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公开(公告)号： US09526146B2公开(公告)日： 2016-12-20
- 发明人: Hee-Seak Noh
- 申请人： Samsung Display Co., Ltd.
- 申请人地址： KR Gyeonggi-do
- 专利权人： Samsung Display Co., Ltd.
- 当前专利权人： Samsung Display Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Gyeonggi-do
- 代理机构： Knobbe Martens Olson & Bear LLP
- 优先权： KR10-2013-0043648 20130419
- 主分类号： B23P19/04
- IPC分类号： B23P19/04 ; H05B33/10
摘要：
A mask assembly fabrication apparatus includes a first vibration proof apparatus formed on a base surface, a first surface plate formed on the first vibration proof apparatus, stages formed on the first surface plate, a mask frame placed on the stages, a second vibration proof apparatus formed on the base surface to be separate from the first vibration proof apparatus, a second surface plate formed on the second vibration proof apparatus to be separate from the first surface plate, and a driving unit formed on the second surface plate and configured to move a mask.
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