- 专利标题： Feedback for buffer layer deposition
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申请号： US14709262申请日： 2015-05-11
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公开(公告)号： US09640705B2公开(公告)日： 2017-05-02
- 发明人: Jeffrey S. Britt , Scot Albright , Urs Schoop
- 申请人： Global Solar Energy, Inc.
- 申请人地址： US AZ Tucson
- 专利权人： Global Solar Energy, Inc.
- 当前专利权人： Global Solar Energy, Inc.
- 当前专利权人地址： US AZ Tucson
- 代理机构： Kolisch Hartwell, P.C.
- 主分类号： B05D5/12
- IPC分类号： B05D5/12 ; H01L31/18 ; C23C18/12 ; H01L31/0392 ; H01L31/0749 ; H01L31/032
摘要：
Improved methods and apparatus for forming thin film layers of chalcogenide on a substrate web. According to the present teachings, a feedback control system may be employed to measure one or more properties of the web and/or the chalcogenide layer, and to adjust one or more parameters of the system or buffer layer deposition method in response to the measurement.
公开/授权文献
- US20150263213A1 FEEDBACK FOR BUFFER LAYER DEPOSITION 公开/授权日：2015-09-17
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