- 专利标题： Feature and depth measurement using multiple beam sources and interferometry
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申请号： US14676070申请日： 2015-04-01
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公开(公告)号： US09719776B2公开(公告)日： 2017-08-01
- 发明人: Parviz Tayebati
- 申请人： Parviz Tayebati
- 申请人地址： US MA Wilmington
- 专利权人： TERADIODE, INC.
- 当前专利权人： TERADIODE, INC.
- 当前专利权人地址： US MA Wilmington
- 代理机构： Morgan, Lewis & Bockius LLP
- 主分类号： G01B11/02
- IPC分类号： G01B11/02 ; G01B11/06 ; G01B9/02 ; B23K26/03 ; B23K26/06
摘要：
Systems and techniques for processing materials using wavelength beam combining for high-power operation in concert with interferometry to detect the depth or height of features as they are created.
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