- 专利标题： Local alignment point calibration method in die inspection
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申请号： US15049524申请日： 2016-02-22
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公开(公告)号： US09953803B2公开(公告)日： 2018-04-24
- 发明人: Wei Fang , Kevin Liu , Fei Wang , Jack Jau
- 申请人： Hermes Microvision Inc.
- 申请人地址： TW Hsinchu
- 专利权人： HERMES MICROVISION INC.
- 当前专利权人： HERMES MICROVISION INC.
- 当前专利权人地址： TW Hsinchu
- 代理机构： Finnegan, Henderson, Farabow, Garrett & Dunner LLP
- 主分类号： H01J37/20
- IPC分类号： H01J37/20 ; H01J37/06
摘要：
A calibration method for calibrating the position error in the point of interest induced from the stage of the defect inspection tool is achieved by controlling the deflectors directly. The position error in the point of interest is obtained from the design layout database.
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