- 专利标题： Inner tube for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
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申请号： US82977申请日： 1998-02-02
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公开(公告)号： USD407696S公开(公告)日： 1999-04-06
- 设计人: Tomohisa Shimazu
- 申请人： Tomohisa Shimazu
- 申请人地址： JPX Tokyo-to
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo-to
- 优先权： JPX9-65096 19970820
公开/授权文献
- US5438264A Magnetic field generating apparatus 公开/授权日：1995-08-01
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