- 专利标题： Wafer boat for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
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申请号： US83420申请日： 1998-02-05
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公开(公告)号： USD409158S公开(公告)日： 1999-05-04
- 设计人: Tomohisa Shimazu
- 申请人： Tomohisa Shimazu
- 申请人地址： JPX Tokyo-To
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo-To
- 优先权： JPX9-65101 19970820
公开/授权文献
- US6117682A Method for detecting hydrocarbons in water 公开/授权日：2000-09-12
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