- 专利标题： Electrostatic chuck with improved spacing and charge migration reduction mask
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申请号： US81238申请日： 1997-12-24
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公开(公告)号： USD420022S公开(公告)日： 2000-02-01
- 设计人: Vincent E. Burkhart , Allen Flanigan , Steven Sansoni
- 申请人： Vincent E. Burkhart , Allen Flanigan , Steven Sansoni
- 申请人地址： CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： CA Santa Clara
公开/授权文献
- USD261537S Game board 公开/授权日：1981-10-27
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