外观设计
- 专利标题： Boat of wafer processing apparatus
- 专利标题（中）： 晶圆加工设备船
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申请号： US29378016申请日： 2010-10-28
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公开(公告)号： USD655255S1公开(公告)日： 2012-03-06
- 设计人: Yuji Takebayashi , Tatsuyuki Saito , Tetsuo Yamamoto , Tsutomu Kato , Satoshi Okada
- 申请人： Yuji Takebayashi , Tatsuyuki Saito , Tetsuo Yamamoto , Tsutomu Kato , Satoshi Okada
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Hitachi Kokusai Electric Inc.
- 当前专利权人： Hitachi Kokusai Electric Inc.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Volpe and Koenig, P.C.
- 优先权： JP2010-015046 20100618
- LOC分类号： 13-03
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