- 专利标题: Wafer carrier having pockets
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申请号: US29416238申请日: 2012-03-20
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公开(公告)号: USD686582S1公开(公告)日: 2013-07-23
- 设计人: Sandeep Krishnan , Keng Moy
- 申请人: Sandeep Krishnan , Keng Moy
- 申请人地址: US NY Plainview
- 专利权人: Veeco Instruments Inc.
- 当前专利权人: Veeco Instruments Inc.
- 当前专利权人地址: US NY Plainview
- 代理机构: Lerner, David, Littenberg, Krumholz & Mentlik, LLP
- LOC分类号: 13-03
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