发明申请
- 专利标题： 合成石英ガラス光学部材及びその製造方法
- 专利标题（英）： Synthetic quartz glass optical member and method for preparation thereof
- 专利标题（中）： 合成石英玻璃光学元件及其制备方法
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申请号： PCT/JP2004/000467申请日： 2004-01-21
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公开(公告)号： WO2004065315A1公开(公告)日： 2004-08-05
- 发明人: 神保 宏樹 , 藤原 誠志 , 小峯 典男
- 申请人： 株式会社ニコン , 神保 宏樹 , 藤原 誠志 , 小峯 典男
- 申请人地址： 〒1008331 東京都千代田区丸の内三丁目2番3号 Tokyo JP
- 专利权人： 株式会社ニコン,神保 宏樹,藤原 誠志,小峯 典男
- 当前专利权人： 株式会社ニコン,神保 宏樹,藤原 誠志,小峯 典男
- 当前专利权人地址： 〒1008331 東京都千代田区丸の内三丁目２番３号 Tokyo JP
- 代理机构： 川北 喜十郎
- 优先权： JP2003-012723 20030121
- 主分类号： C03B20/00
- IPC分类号： C03B20/00
摘要：
合成石英ガラス部材は、ＯＨ基濃度が１ｐｐｂ～１０ｐｐｍであり、Ｓｉに結合しているＦ濃度が０．５ｗｔ％～３．０ｗｔ％であり、水素分子濃度が１×１０ １６ 個／ｃｍ ３ ～５×１０ １７ 個／ｃｍ ３ である。高い紫外光透過率及び耐紫外線特性を有するとともに、緩和率が小さく、しかも面内分布に優れる。１９０ｎｍ以下の波長領域の紫外線に使用することが好適である。
