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WO2005047707A1 MEHRSTUFIGE REIBUNGSVAKUUMPUMPE 审中-公开
多级摩擦真空泵

MEHRSTUFIGE REIBUNGSVAKUUMPUMPE
Abstract:
Eine mehrstufige Reibungsvakuumpumpe, die mindestens eine Turboverdichterstufe (11) aufweist, ist druckseitig von der Turboverdichterstufe mit einer Zirkularverdichterstufe (33) versehen. Diese hat geringe axiale Abmessungen. Durch sie wird die Kompression vergrößert, ohne dass der Platzbedarf wesentlich erhöht wäre.
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