公开(公告)号：WO2009089958A1

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：PCT/EP2008/066309

申请日：2008-11-27

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D29/542

Abstract: Eine Turbomolekularpumpe weist einen mit einer Antriebswelle (10) verbundenen Rotor (12) auf. Der Rotor ( 12) weist mehrere Rotorflügel (16) auf. Der Rotor (12) ist von Statorringen (26) umgeben, wobei je Rotorflügel (16) ein Statorring (26) vorgesehen ist. Um im Betrieb ein radiales Ausdehnen des Rotorflügels zu ermöglichen, weisen die Statorringe (26) Ringnuten (32) auf.

Abstract translation: 涡轮分子泵包括连接到所述转子（12）的驱动轴（10）。 所述转子（12）具有多个转子叶片（16）。 转子（12）由定子环（26），其中每个转子叶片（16）包括一个定子环（26）设置包围。 为了允许操作期间转子叶片的径向膨胀，定子环具有（26）的环形槽（32）。

公开(公告)号：WO2006077175A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：PCT/EP2006/050018

申请日：2006-01-03

Applicant: LEYBOLD VACUUM GMBH ,  BEYER, Christian ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： BEYER, Christian ,  ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D17/16 ,  F04D23/00 ,  F04D29/08

CPC classification number: F04D23/008 ,  F04D17/168 ,  F04D29/051 ,  F04D29/083

Abstract: Ein Vakuum-Seitenkanalverdichter (10) weist einen Pumpenstator (14) und einen Pumpenrotor (12) auf, die einen Seitenkanal (31,32,33,34) umschliessen. Zur Lagerung des Pumpenrotors (12) ist ein Axiallager (22) vorgesehen. Seitlich des Seitenkanais ist zwischen dem Pumpenstator (14) und dem Pumpenrotor (12) ein Dichtspalt (40) gebildet, der teilweise einen Kegelring bildet, dessen gedachte Kegelspitze (50) in der Nähe des Axiallagers (22) liegt.

Abstract translation: 真空侧通道压缩机（10）具有一泵定子（14）和泵转子（12），它包围一个侧通道（31,32,33,34）。 对于泵转子（12）的推力轴承（22）的存储处。 所述Seitenkanais侧的密封间隙（40）设置在泵定子（14）和泵转子（12），其部分地形成锥环的推力轴承（22）的附近，其假想圆锥顶点（50）之间形成的。

公开(公告)号：WO2009049988A1

公开(公告)日：2009-04-23

申请号：PCT/EP2008/062519

申请日：2008-09-19

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/32 ,  F04D29/64

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D19/048 ,  F04D29/321 ,  F04D29/644

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf einen mehrstufigen Pumpenrotor (10) für eine Turbomolekularpumpe. Der Pumpenrotor (10) weist mindestens zwei separate Flügelscheibenringe (17) mit jeweils einem Rotorring (12) und mindestens einer Flügelscheibe (14) auf. Zwischen den Flügelscheiben (14) benachbarter Flügelscheibenringe (17) ist ein zylindrisches Armierungsrohr (18) vorgesehen, das die Rotorringe (12) der Flügelscheibenringe (17) außenseitig spielfrei umfasst. Das Armierungsrohr (18) nimmt einen großen Teil der im Betrieb auftretenden tangentialen Kräfte auf, so dass der Pumpenrotor (10) eine verbesserte Festigkeit bei hohen Rotordrehzahlen aufweist.

Abstract translation: 本发明涉及一种多级泵的转子（10），用于一个涡轮分子泵。 泵转子（10）具有至少两个分开的叶片盘环（17），每一个具有一个转子环（12）和至少一个叶轮（14）。 相邻的叶片盘环的翼片（14）（17）之间提供了一种圆柱形加强管（18），其包括在外侧上翼盘环（17）的转子环（12）无间隙。 加强管（18）占据操作期间出现的切向力的很大一部分，因此，泵转子（10）具有在高转子速度下的改进的强度。

公开(公告)号：WO1994025759A1

公开(公告)日：1994-11-10

申请号：PCT/EP1994000785

申请日：1994-03-14

Applicant: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D29/056 ,  F04D19/04 ,  F04D29/668

Abstract: The invention relates to a friction vacuum pump (1) with a housing (2, 3), a rotor (8) and a rotor bearing (9) which is supported in the housing (2, 3) via a sleeve-like support (21). In order to obtain a precise support which nonetheless permits slight oscillations in the rotating system, it is proposed that the sleeve-like support (21) is in turn supported in the housing (2, 3) via several, preferably three, substantially axially extending rods (26).

公开(公告)号：WO2008015105A1

公开(公告)日：2008-02-07

申请号：PCT/EP2007/057436

申请日：2007-07-18

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich ,  HARIG, Christian

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich ,  HARIG, Christian

IPC: F04D17/16 ,  F04D19/04 ,  H01R13/52

CPC classification number: F04D19/04 ,  F04D17/168 ,  F04D25/0693

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe (10) mit einem vakuumdichten Gehäuse (12) und einer gasdichten elektrischen Durchführung (20) zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem elektrischen Bauteil (14, 16, 18) innerhalb des Gehäuses (12) und der Gehäuse-Außenseite. Die Durchführung (20) wird gebildet von einer Gehäuse-Öffnung (22), einem auf der Öffnung sitzenden Vergussmasse-Körper (24), einer elektrischen Leitung in dem Vergussmasse-Körper (24), einem Dichtring (26) zwischen dem Öffnungsrand der Gehäuse-Öffnung (22) und dem Vergussmasse-Körper (24) und einer Fixierung (32) zur Befestigung des Vergussmasse-Körpers (24) an dem Gehäuse (12).

Abstract translation: 本发明涉及一种真空泵（10）具有用于产生电气部件之间的壳体（12）内的电连接（14，16，18）的真空密封的壳体（12）和不透气的电气套管（20）和所述壳体 -Außenseite。 衬套（20）由所述壳体的开口边缘之间的壳体开口（22），一个人坐在开口浇铸化合物体（24），在浇铸化合物体（24）的电线，一个密封环（26）形成 -Öffnung（22）和浇铸化合物体（24）和用于将壳体（12）在铸造化合物体（24）固定的固定（32）。

公开(公告)号：WO2005047707A1

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：PCT/EP2004/012196

申请日：2004-10-28

Applicant: LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04D17/02 ,  F04D17/127 ,  F04D17/168

Abstract: Eine mehrstufige Reibungsvakuumpumpe, die mindestens eine Turboverdichterstufe (11) aufweist, ist druckseitig von der Turboverdichterstufe mit einer Zirkularverdichterstufe (33) versehen. Diese hat geringe axiale Abmessungen. Durch sie wird die Kompression vergrößert, ohne dass der Platzbedarf wesentlich erhöht wäre.

Abstract translation: 一种多级摩擦真空泵包括至少一个离心式压缩机级（11）设置在涡轮压缩机级的压力侧具有圆形压缩机级（33）。 这具有小的轴向尺寸。 通过他们，压缩没有空间要求将大大的增加而增加。

公开(公告)号：WO2004099622A1

公开(公告)日：2004-11-18

申请号：PCT/EP2004/004713

申请日：2004-05-04

Applicant: LEYBOLD VAKUUM GMBH ,  BEYER, Christian ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： BEYER, Christian ,  ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D19/04

CPC classification number: F04D29/051 ,  F04D19/04 ,  F04D29/059 ,  F04D29/668 ,  F16C19/547 ,  F16C25/086 ,  F16C27/066 ,  F16C2360/45

Abstract: Die Turbovakuumpumpe zur Erzeugung eines Hochvakuums weist eine mit hoher Drehzahl rotierende Rotorwelle (15) auf, die in zwei Wälzlagern (21,21a) gelagert ist. Der Außenring (34) eines Wälzlagers ist in axialer Richtung durch eine Magnetanordnung aus zwei ringförmigen Magneten (35,36) vorgespannt, zwischen denen ein Luftspalt (37) gebildet ist. Dadurch wird die Übertragung von geräuschbildenden Schwingungen von dem Rotor auf das Gehäuse (12) verhindert.

Abstract translation: 涡轮真空泵用于产生高真空具有高速在两个轴承（21,21a）旋转的转子轴（15）安装。 滚动轴承的外圈（34）在轴向方向上由两个环形磁铁（35,36），形成空气间隙（37）在它们之间的一磁铁装置偏置。 其特征在于声音振动的传递从形成转子到所述壳体（12）被防止。

公开(公告)号：WO2002086325A1

公开(公告)日：2002-10-31

申请号：PCT/EP2002/003743

申请日：2002-04-04

Applicant: LEYBOLD VAKUUM GMBH ,  BEYER, Christian ,  HODAPP, Josef ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： BEYER, Christian ,  HODAPP, Josef ,  ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D29/66

CPC classification number: F04D29/666 ,  F16C2360/45 ,  F16L27/11

Abstract: Zum Verbindung zweier Vakuumvorrichtungen (12, 14) dient eine Vakuumleitung (10), die einen vakuumdichten flexiblen Rohrabschnitt (22) und einen Schwingungsdämpfer (16) axial parallel zu dem flexiblen Rohrabschnitt (22) aufweist. Der Schwingungsdämpfer (16) ist ein aktiv geregeltes axiales Magnetlager. Hierdurch wird ein Schwingungsdämpfer mit guten Dämpfungseigenschaften realisiert. Der Schwingungsdämpfer ist durch Veränderung der Regelungsparameter anpassbar und unterliegt keinem mechanischen Verschleiss. Die Übertragung von Körperschall wird durch die berührungslose Schwingungsdämpfung vermieden.

Abstract translation: 用于连接两个真空装置（12，14）是具有真空密封的挠性管部（22）和一个振动阻尼器（16），真空管线（10）轴向平行于挠性管部（22）。 振动阻尼器（16）是主动控制的轴向磁性轴承。 这提供了一种振动具有良好的阻尼特性来实现。 振动阻尼器是通过改变控制参数调节的和不受机械磨损。 结构声的传输是通过所述非接触式减振防止。

公开(公告)号：WO2012110378A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：PCT/EP2012/052122

申请日：2012-02-08

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich ,  RICHTER, Michael

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich ,  RICHTER, Michael

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/44

CPC classification number: F04D19/046 ,  F04D29/448

Abstract: Ein Statorelement für eine Hochvakuumpumpe ist in Förderrichtung (26) dem letzten Rotorelement nachgeordnet. Das Statorelement weist ein Gehäuseelement (28), das mit einem Gehäuse (12) der Hochvakuumpumpe verbunden ist. An einer Innenseite (30) des Gehäuseelementes (28) sind mehrere in Umfangsrichtung regelmäßig verteilt angeordnete Statorstege (32) angeordnet.

Abstract translation: 一种用于在高真空泵定子在输送方向（26）经过所述转子元件下游。 定子具有一壳体元件（28），其是连接到高真空泵的壳体（12）。 几个周向布置的规则排列分布的定子腹板（32）在所述壳体元件（28）的内侧（30）。

公开(公告)号：WO2010069814A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：PCT/EP2009/066587

申请日：2009-12-08

Applicant: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH ,  ENGLÄNDER, Heinrich

Inventor： ENGLÄNDER, Heinrich

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/52 ,  F04D29/64 ,  F04D27/02

CPC classification number: F04D19/042 ,  F04D27/0292 ,  F04D29/601

Abstract: Eine Vakuumpumpe weist mindestens ein in einem Gehäuse (10) angeordnetes Pumpelement (12) auf. Das Pumpelement wird von einer Welle (14) getragen. Mit dem Gehäuse (10) ist ein Befestigungsflansch (20) zur Befestigung der Pumpe an einem Aufnahmeelement (24) verbunden. Der Befestigungsflansch weist entlang einer Kreislinie (26) angeordnete Befestigungslöcher auf. Diese sind zur Absorption von Energie im Burstfall als Langlöcher (28) ausgebildet. Die Längsachsen (32) der Langlöcher (28) weisen einen Winkel (α) ungleich null zu den Tangentialen (34) an die Kreislinie (26) auf.

Abstract translation: 真空泵具有设置在所述泵送元件（12）上的壳体（10）的至少一个。 泵送元件由轴（14）承载。 与所述壳体（10）是紧固凸缘（20），用于安装一个接收元件（24）上的泵。 所述安装凸缘具有沿圆形线（26）固定孔设置。 这些被设计为吸收能量的情况下，作为脉冲串长孔（28）。 长孔（28）的纵向轴线（32）具有与所述切线（34）连接到圆形线（26）的角度（α）不同于零。