HALBLEITERBAUELEMENT, INSBESONDERE DIODE, UND ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要:
Dioden mit Avalanche-Verhalten sind bekannt. Gemäss der Erfin- dung sind insbesondere zur Realisierung einer pn-Diode in ei- ner dünnen Schicht unter der p-Anode (2) gebietsweise Berei- che (12 ik , i=1-m, k=1-n) vorhanden, in denen die Konzentrati- 10 on der n-Dotierung über der Konzentration der n-Dotierung der epitaktischen Schicht (11) liegt. Zur Herstellung eines sol- chen Bauelementes werden Epitaxie- und/oder Implantationsme- thoden angewandt.
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