Invention Application
- Patent Title: PROJEKTIONSOBJEKTIV EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
- Patent Title (English): Projection lens system of a microlithographic projection exposure installation
- Patent Title (中): 微型投影曝光设备的投影目标
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Application No.: PCT/EP2005/012327Application Date: 2005-11-17
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Publication No.: WO2006053751A2Publication Date: 2006-05-26
- Inventor: BEIERL, Helmut , BLEIDISTEL, Sascha , SINGER, Wolfgang , GRUNER, Toralf , EPPLE, Alexander , WABRA, Norbert , BEDER, Susanne , WEBER, Jochen , FELDMANN, Heiko , SCHWAER, Bärbel , ROGALSKY, Olaf , KAZI, Ari
- Applicant: CARL ZEISS SMT AG , BEIERL, Helmut , BLEIDISTEL, Sascha , SINGER, Wolfgang , GRUNER, Toralf , EPPLE, Alexander , WABRA, Norbert , BEDER, Susanne , WEBER, Jochen , FELDMANN, Heiko , SCHWAER, Bärbel , ROGALSKY, Olaf , KAZI, Ari
- Applicant Address: Carl-Zeiss-Str. 22, 73447 Oberkochen DE
- Assignee: CARL ZEISS SMT AG,BEIERL, Helmut,BLEIDISTEL, Sascha,SINGER, Wolfgang,GRUNER, Toralf,EPPLE, Alexander,WABRA, Norbert,BEDER, Susanne,WEBER, Jochen,FELDMANN, Heiko,SCHWAER, Bärbel,ROGALSKY, Olaf,KAZI, Ari
- Current Assignee: CARL ZEISS SMT AG,BEIERL, Helmut,BLEIDISTEL, Sascha,SINGER, Wolfgang,GRUNER, Toralf,EPPLE, Alexander,WABRA, Norbert,BEDER, Susanne,WEBER, Jochen,FELDMANN, Heiko,SCHWAER, Bärbel,ROGALSKY, Olaf,KAZI, Ari
- Current Assignee Address: Carl-Zeiss-Str. 22, 73447 Oberkochen DE
- Agency: SCHWANHÄUSSER, Gernot et al.
- Priority: US60/629,126 20041118
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20
Abstract:
Eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage weist ein Projektionsobjektiv (20) auf, das ein Objekt (24) auf eine Bildebene (28) abbildet und eine Linse (L3) mit einer gekrümmten Fläche (S) hat. In dem Projektionsobjektiv (20) befindet sich ein flüssiges oder festes Medium (34), das unmittelbar an die gekrümmte Fläche (S) über einen Bereich hinweg angrenzt, der für die Abbildung des Objekts (24) nutzbar ist. Die Projektionsbelichtungsanlage weist außerdem einen verstellbaren Manipulator (M) zur Verringerung einer Bildfeldwölbung auf, die durch eine Erwärmung des Mediums (34) während des Projektionsbetriebs verursacht wird.
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