放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に解像性能に優れ、ＤＯＦ、ＬＥＲに優れ、さらに液浸耐性に優れる感放射線性樹脂組成物、その組成物に利用できる重合体およびこの重合体合成に用いられる新規化合物、ならびにその製造方法を提供する。新規化合物は下記式（１）で表され、液浸耐性に優れる感放射線性樹脂組成物がえられる。 　式（１）において、Ｒ 1 はメチル基または水素原子を表し、Ｒ 2 、Ｒ 3 、またはＲ 4 はそれぞれ独立に置換基を有してもよい炭素数１～１０の１価の有機基を表し、ｎは０～３の整数を表し、Ａはメチレン基、直鎖状もしくは分岐状の炭素数２～１０アルキレン基またはアリーレン基を表し、Ｘ － はＳ ＋ の対イオンを表す。