Invention Application
- Patent Title: セラミックス-金属接合体、その製造方法およびそれを用いた半導体装置
- Patent Title (English): Ceramic-metal bonded body, method for manufacturing the bonded body and semiconductor device using the bonded body
- Patent Title (中): 陶瓷金属结合体,使用粘结体制造粘合体和半导体器件的方法
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Application No.: PCT/JP2007/063307Application Date: 2007-07-03
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Publication No.: WO2008004552A1Publication Date: 2008-01-10
- Inventor: 那波 隆之 , 小松 通泰 , 中山 憲隆 , 加藤 寛正
- Applicant: 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社 , 那波 隆之 , 小松 通泰 , 中山 憲隆 , 加藤 寛正
- Applicant Address: 〒1058001 東京都港区芝浦一丁目1番1号 Tokyo JP
- Assignee: 株式会社東芝,東芝マテリアル株式会社,那波 隆之,小松 通泰,中山 憲隆,加藤 寛正
- Current Assignee: 株式会社東芝,東芝マテリアル株式会社,那波 隆之,小松 通泰,中山 憲隆,加藤 寛正
- Current Assignee Address: 〒1058001 東京都港区芝浦一丁目1番1号 Tokyo JP
- Agency: 波多野 久 et al.
- Priority: JP2006-184321 20060704
- Main IPC: C04B37/02
- IPC: C04B37/02 ; B23K1/19 ; B23K35/30 ; H01L23/36
Abstract:
セラミックス基板と金属板とを活性金属ろう材層を介して接合したセラミックス-金属接合体において、周期律表で規定する8族元素から選択された少なくとも1種の遷移金属が上記活性金属ろう材層中に含有されていることを特徴とするセラミックス-金属接合体である。上記構成によれば、セラミックス-金属接合体をパワーモジュールに供した場合においても、高い接合強度および優れた耐熱サイクル特性を共に備え、耐久性および信頼性に優れたセラミックス-金属接合体およびそれを用いた半導体装置を提供できる。
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