本発明は、溝２を有するセラミック部材１に関する。セラミック部材１は、溝２の表面２１からの法線方向における少なくとも１μｍ以上１０μｍ以下までの領域が、溝２の表面２１からの法線方向の６０μｍ以上７０μｍ以下までの領域よりも、シリカまたはイットリアの含有率が高いものである。溝２の表面２１からの法線方向における少なくとも１μｍ以上１０μｍ以下までの領域を少なくとも表層２０としたとき、表層２０におけるシリカまたはイットリアの含有率は、溝２の表面２１からの法線方向の６０μｍ以上７０μｍ以下までの領域でのシリカまたはイットリアの平均含有率に対して、１．２倍以上１．６倍以下であるのが好ましい。