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公开(公告)号:WO2008062496A1
公开(公告)日:2008-05-29
申请号:PCT/JP2006/321800
申请日:2006-10-31
Inventor: 松崎 孝博
CPC classification number: H05K3/0052 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/52 , B28D5/0011 , C04B35/111 , C04B35/486 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3225 , C04B2235/3418 , C04B2235/75 , C04B2235/94 , C04B2235/945 , C04B2235/95 , C04B2235/96 , H05K1/0306 , H05K3/0029 , H05K2201/09036 , H05K2201/0909 , H05K2203/081 , H05K2203/1131 , Y10T428/15 , Y10T428/24479 , Y10T428/2457 , Y10T428/24942
Abstract: 本発明は、溝2を有するセラミック部材1に関する。セラミック部材1は、溝2の表面21からの法線方向における少なくとも1μm以上10μm以下までの領域が、溝2の表面21からの法線方向の60μm以上70μm以下までの領域よりも、シリカまたはイットリアの含有率が高いものである。溝2の表面21からの法線方向における少なくとも1μm以上10μm以下までの領域を少なくとも表層20としたとき、表層20におけるシリカまたはイットリアの含有率は、溝2の表面21からの法線方向の60μm以上70μm以下までの領域でのシリカまたはイットリアの平均含有率に対して、1.2倍以上1.6倍以下であるのが好ましい。
Abstract translation: 具有凹槽(2)的陶瓷构件(1)。 在陶瓷构件(1)中,从每个凹槽(2)的表面(21)的法线方向深度至少为1μm至10μm的区域的二氧化硅或氧化钇含量比从 从凹槽(2)的表面(21)的正方向深度方向上为60μm至70μm。 当从每个凹槽(2)的表面(21)的法线方向深度至少为1μm至10μm的区域被称为表面层(20)时,表面上的二氧化硅或氧化钇含量 从槽(2)的表面(21)的方向的深度来看,层(20)优选为二氧化硅或氧化钇的平均含量在从60μm至70μm范围内的平均含量的1.2至1.6倍。