電子ビーム装置

Invention Application

WO2008117358A1 電子ビーム装置审中-公开

Title translation: 电子束装置

Abstract:

　描画の実行時において、基板への非照射時における電子ビームのビーム電流を検出するビーム電流検出器と、上記ビーム電流に基づいて電子ビームの変動値を算出する変動値算出器と、上記変動値に基づいて描画時の電子ビーム変動を補正する補正器と、を有している。

Abstract(Chinese):

一种电子束装置，其特征在于，具有用于当进行绘制时检测未照射衬底的电子束的束电流的光束电流检测器，用于根据束电流计算电子束波动值的波动值计算器，以及校正器，用于根据波动值修正进行绘图时的电子束波动。

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Global Dossier Patent Scope Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/20	.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）