접지 구조물 및 이를 구비하는 히터와 플라즈마 화학기상증착 장치를 개시한다. 접지 구조물은 접지 전류를 접지 수용체로 안내하는 접지 커넥터를 수용하는 수용부를 구비하는 접지 마운트, 수용부에 배치되며 일측이 개방되어 내부와 외부가 연통하는 개방부를 구비하는 실린더 형상을 갖고 접지 커넥터의 표면과 내측면이 서로 접촉하도록 접지 커넥터를 파지하는 접지 클램프, 개방부와 인접한 외측면으로부터 절곡되도록 돌출하여 외측면과 평행하게 연장하여 개방부의 폭만큼 이격되어 배치되는 한 쌍의 걸림턱, 걸림턱에 체결되어 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 보강하는 죔새 보강부재 및 접지 클램프의 외측면과 접지 마운트를 전기적으로 연결하여 접지 전류를 접지 마운트로 전달하는 접지배선을 포함한다. 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 향상하여 이격공간의 발생을 억제함으로써 아킹에 의한 접지 커넥터 손상을 방지한다.