公开(公告)号：WO2011078488A2

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：PCT/KR2010/008348

申请日：2010-11-24

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최정덕 ,  육현미 ,  최진식

Inventor： 최정덕 ,  육현미 ,  최진식

IPC: H01L21/205 ,  H01R13/648

CPC classification number: H01R4/643 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/509 ,  H01R13/53

Abstract: 접지 구조물 및 이를 구비하는 히터와 플라즈마 화학기상증착 장치를 개시한다. 접지 구조물은 접지 전류를 접지 수용체로 안내하는 접지 커넥터를 수용하는 수용부를 구비하는 접지 마운트, 수용부에 배치되며 일측이 개방되어 내부와 외부가 연통하는 개방부를 구비하는 실린더 형상을 갖고 접지 커넥터의 표면과 내측면이 서로 접촉하도록 접지 커넥터를 파지하는 접지 클램프, 개방부와 인접한 외측면으로부터 절곡되도록 돌출하여 외측면과 평행하게 연장하여 개방부의 폭만큼 이격되어 배치되는 한 쌍의 걸림턱, 걸림턱에 체결되어 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 보강하는 죔새 보강부재 및 접지 클램프의 외측면과 접지 마운트를 전기적으로 연결하여 접지 전류를 접지 마운트로 전달하는 접지배선을 포함한다. 접지 클램프와 접지 커넥터의 접착력을 향상하여 이격공간의 발생을 억제함으로써 아킹에 의한 접지 커넥터 손상을 방지한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种接地结构，以及具有该接地结构的加热器和化学气相沉积设备。 接地结构包括：接地座，其具有用于接收用于将接地电流引导到接地接收器的接地连接器的壳体; 位于壳体处的接地夹具，接地夹具具有开口部分的圆筒形状，以在内部和外部连通并且以使接地连接器的表面和内表面彼此接触的方式保持接地连接器 ; 一对夹爪，其从靠近开口部分的外表面突出并且与外表面平行地延伸，同时保持与开口部分的宽度相同的距离; 紧固到所述夹爪的干涉加强构件，用于加强所述接地夹和所述接地连接器之间的接合力; 以及用于将接地夹的外表面与接地座连接以将接地电流传送到接地座的接地线。 通过增加接地夹和接地连接器之间的接合力，可以抑制间隙的形成，从而防止由于电弧引起的接地连接器的损坏。

公开(公告)号：WO2012011703A2

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/KR2011/005260

申请日：2011-07-18

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

Inventor： 최정덕 ,  육현미 ,  최진식 ,  박창현

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/019

Abstract: 멤스 스위치 및 이의 제조방법에 있어서, 멤스 스위치는 기판과, 기판 상에 형성된 제1 단자와, 기판 상에 형성되고 제1 단자와 간격을 두고 위치한 제2 단자와, 제2 단자 상에 형성되는 도전성 지지대와, 지지대에 캔틸레버(cantilever) 형태로 연결되고 기판과 평행한 방향으로 연장되어 일 단부가 제1 단자의 상방에 위치하며 외부의 충격에 의한 휘어짐으로 제1 단자와 접촉하는 도전성 구동빔을 포함한다. 이에, 초소형 사이즈의 스위치 형성이 가능하고, 안정적인 스위치 동작이 가능하다.

Abstract translation: 和

MEMS开关，和在其制备中，MEMS开关形成在第一端子和形成在基板和基板位于距离的第二端子的第一端子上的基板上， 形成在第二端子上的导电支撑件，连接到支撑件并在平行于基板的方向上延伸的悬臂，一端位于第一端子上方， 在这个实施例中， 因此，可以形成非常小尺寸的开关并且可以进行稳定的开关操作。