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WO2011086649A1 LiCoO2焼結体の製造方法及びスパッタリングターゲット 审中-公开
用于LiCoO2烧结体的制造方法和从其制成的溅射靶

LiCoO2焼結体の製造方法及びスパッタリングターゲット
Abstract:
【課題】高密度な焼結体を安定して製造することができるLiCoO 2 焼結体の製造方法及びスパッタリングターゲットを提供する。 【解決手段】本発明の一実施形態に係るLiCoO 2 焼結体の製造方法は、LiCoO 2 粉末を型に充填する工程を含む。上記型内は減圧され、上記LiCoO 2 粉末は、上記型内で800℃以上880℃以下の温度で加圧焼結される。上記製造方法によれば、95%以上の相対密度と、10μm以上30μm以下の平均粒径とを有するLiCoO 2 焼結体を安定して製造することができる。
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