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WO2011118307A1 コンデンサ内蔵基板の製造方法、及び該製造方法に使用可能な素子シートの製造方法
审中-公开
用于具有内置电容器的衬底的生产方法和用于在生产方法中可以使用的元件片材的生产方法
- Patent Title: コンデンサ内蔵基板の製造方法、及び該製造方法に使用可能な素子シートの製造方法
- Patent Title (English): Production method for substrate with built-in capacitor and production method for element sheets that can be used in aforementioned production method
- Patent Title (中): 用于具有内置电容器的衬底的生产方法和用于在生产方法中可以使用的元件片材的生产方法
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Application No.: PCT/JP2011/053639Application Date: 2011-02-21
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Publication No.: WO2011118307A1Publication Date: 2011-09-29
- Inventor: 野口 仁志 , 田中 直樹 , 仲村 達也 , 江崎 賢一 , 二木 一也
- Applicant: 三洋電機株式会社 , 野口 仁志 , 田中 直樹 , 仲村 達也 , 江崎 賢一 , 二木 一也
- Applicant Address: 〒5708677 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 Osaka JP
- Assignee: 三洋電機株式会社,野口 仁志,田中 直樹,仲村 達也,江崎 賢一,二木 一也
- Current Assignee: 三洋電機株式会社,野口 仁志,田中 直樹,仲村 達也,江崎 賢一,二木 一也
- Current Assignee Address: 〒5708677 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 Osaka JP
- Agency: ▲角▼谷 浩
- Priority: JP2010-071840 20100326
- Main IPC: H05K3/46
- IPC: H05K3/46 ; H01G4/12 ; H05K1/16
Abstract:
本発明に係る製造方法は、素子シート作製工程と、貼付け工程と、エッチング工程と、積層工程とを有している。素子シート作製工程では、金属箔50を用いて、該金属箔50の内、コンデンサ素子の第1電極層となる所定領域54上に、粉末噴射コーティング法を用いて誘電体層13を形成し、その後、該誘電体層13上にコンデンサ素子の第2電極層となる金属層を形成することにより、素子部を有する素子シートを作製する。貼付け工程では、素子シートを絶縁基材上に貼り付ける。エッチング工程では、金属箔50にエッチングを施すことにより、絶縁基材上に、素子シートの素子部からなるコンデンサ素子を形成する。積層工程では、絶縁基材上に別の絶縁基材を積層する。
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