Invention Application
WO2012062560A2 VERFAHREN ZUR SELEKTIVEN SPALTUNG HÖHERER SILANE 审中-公开
选择性切割高硅的工艺

VERFAHREN ZUR SELEKTIVEN SPALTUNG HÖHERER SILANE
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung monomerer und/oder dimerer Halogen und/oder Wasserstoff enthaltenden Siliciumverbindungen aus oligomeren anorganischen Silanen mit mindestens drei unmittelbar kovalent verbundenen Siliciumatomen, deren Substituenten gewählt sind aus Halogen, Wasserstoff und/oder Sauerstoff, indem das oligomere Silan in Gegenwart von Halogenwasserstoff an einem Stickstoff enthaltenden Katalysator umgesetzt wird.
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