Invention Application
- Patent Title: MONOCHLORSILAN, VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZU DESSEN HERSTELLUNG
- Patent Title (English): Monochlorosilane, process and apparatus for producing same
- Patent Title (中): 其生产的一氯硅烷的方法和装置
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Application No.: PCT/EP2012/050754Application Date: 2012-01-19
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Publication No.: WO2012110275A1Publication Date: 2012-08-23
- Inventor: MÜH, Ekkehard , RAULEDER, Hartwig , LANG, Jürgen, Erwin , SCHORK, Reinhold
- Applicant: EVONIK DEGUSSA GMBH , MÜH, Ekkehard , RAULEDER, Hartwig , LANG, Jürgen, Erwin , SCHORK, Reinhold
- Applicant Address: Rellinghauser Straße 1-11 45128 Essen DE
- Assignee: EVONIK DEGUSSA GMBH,MÜH, Ekkehard,RAULEDER, Hartwig,LANG, Jürgen, Erwin,SCHORK, Reinhold
- Current Assignee: EVONIK DEGUSSA GMBH,MÜH, Ekkehard,RAULEDER, Hartwig,LANG, Jürgen, Erwin,SCHORK, Reinhold
- Current Assignee Address: Rellinghauser Straße 1-11 45128 Essen DE
- Priority: DE10 20110214
- Main IPC: C01B33/107
- IPC: C01B33/107
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Monochlorsilan aus der Umsetzung von Monosilan und Dichlorsilan in Gegenwart eines Katalysators. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird Monochlorsilan durch Komproportionierung von Monosilan und Dichlorsilan gebildet. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung des hergestellten Monochlorsilans als auch eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens.
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