Invention Application
WO2012110275A1 MONOCHLORSILAN, VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
其生产的一氯硅烷的方法和装置

MONOCHLORSILAN, VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZU DESSEN HERSTELLUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Monochlorsilan aus der Umsetzung von Monosilan und Dichlorsilan in Gegenwart eines Katalysators. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren wird Monochlorsilan durch Komproportionierung von Monosilan und Dichlorsilan gebildet. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung des hergestellten Monochlorsilans als auch eine Anlage zur Durchführung des Verfahrens.
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